牌号简介 About |
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Chemraz 657全氟弹性体的独特配方专为满足强腐蚀性干等离子体系统的需求而开发,可提高等离子体电阻,减少污染,从而减少停机时间,提高晶圆加工产量。主要推荐用于静态和动态氧化蚀刻晶片处理应用,Chemraz 657在最高280°C(536°F)的工作温度下保持稳定,偏移至300°C(572°F)。 Specifically developed to meet the demands of aggressive dry plasma systems, Chemraz® 657 perfluoroelastomer's unique formulation provides enhanced plasma resistance and minimal contamination resulting in less downtime and higher wafer processing yields. Recommended primarily for both static and dynamic oxide etch wafer processing applications, Chemraz 657 remains stable at service temperatures up to 280°C (536°F) with excursions to 300°C (572°F). |
技术参数 Technical Data | |||
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物理性能 PHYSICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
密度 Density |
2.03 | g/cm³ | |
机械性能 MECHANICAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
邵氏硬度 Shore hardness |
|||
邵氏 A Shaw's A |
85 | ||
弹性体 elastic body |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
拉伸强度 tensile strength |
ASTM D412 | ||
断裂 fracture |
15.2 | MPa | ASTM D412 |
50% 应变 50% strain |
4.45 | MPa | |
100% 应变 100% strain |
9.55 | MPa | |
拉伸应变 Tensile strain |
|||
断裂 fracture |
% | ASTM D412 | |
压缩形变 Compression deformation |
|||
96℃,70 hr 96℃,70 hr |
% | ASTM D395 | |
热性能 THERMAL |
额定值 Nominal Value |
单位 Units |
测试方法 Test Method |
使用温度 Operating temperature |
℃ |
备注 |
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1 一般属性:这些不能被视为规格。 |
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